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走访成都入江富乐德:专注半导体产业链 bbin娱乐场助力本土化生产
德阀门设计课副课长于洲,向记者展示了公司的阀门产品,并详细介绍了其技术特点。
在半导体制作工艺中,需要在工艺腔室与腔室之间加装阀门,这些阀门在半导体真空系统和流体系统中起着至关重要的作用,主要体现在以下几个方面:隔离与保护、流量与压力控制、传输与定位以及安全性与可靠性。
于洲指出,目前国内真空阀门制造领域面临的一大挑战是particle(微小颗粒)的控制。阀门动作的开关会影响真空颗粒的产生,而半导体客户对颗粒的要求极为严格,颗粒不合格会导致不良率显著上升。“我们的阀门具有低振动、低Particle和长寿命的特点。”于洲提到。
成都入江德的阀门在颗粒度控制方面表现出色,连续开合6万次后,产生的颗粒数量仅为10颗。与全球领先的瑞士VAT公司相比,尽管VAT的阀门质量高,但价格昂贵且采购周期长,对于国内企业来说采购难度较大。
“目前,针对12寸小型的半导体阀门,成都入江德正在进行样机测试,包括氦检测试、Particle测试、振动测试和寿命测试。寿命测试已进行了约180万回个动作循环,期间每隔20万回都会进行一次全面的性能测试,以确保阀门在长时间运行下的稳定性和可靠性。该阀门的设计寿命为200万回,成都入江富乐德在寿命测试中设定了更高的目标——即动作达到300万回,以保证其寿命的安全系数不小于1.5。”于洲说。
作为国产半导体生产设备阀门制造的新企业,成都入江富乐德重视四川本土化生产。
微成都记者了解到bbin娱乐场,成都入江富乐德的小型阀门生产主要集中在成都。另外,公司大型阀门和波纹管生产则将在四川内江进行bbin娱乐场,投资超3亿元,占地面积达9000平方米的厂房目前已投入使用。目前,公司客户包括北方华创(002371.SZ)、中微半导(688380.SH)等企业。
天眼查APP显示bbin娱乐场,成都入江富乐德成立于2023年,为安徽入江富乐德精密机械有限公司(以下简称“安徽入江富乐德”)全资子公司。股权关系显示,入江工研株式会社与富乐德(301297.SZ)分别持有安徽入江富乐德51%和49%的股份。
其中,富乐德是一家泛半导体领域设备精密洗净服务提供商,于2022年12月登陆创业板,聚焦于半导体和显示面板两大领域,为半导体及显示面板生产厂商提供一站式设备精密洗净服务,为客户生产设备污染控制提供一体化的洗净再生解决方案。
2023年5月22日,入江工研株式会社与富乐德合资设立安徽入江富乐德,进入真空阀和波纹管产品的生产制造。入江工研株式会社主要提供技术支持,而富乐德则负责管理和运营,公司产品广泛应用于半导体、液晶面板、医疗设备和光伏等多个高科技领域。bbin娱乐场